מצע
חומרים מתכתיים ובלתי מתכתיים
רכיבי ליבה
PLC, מנוע, נושאות, מנוע
ממד ( l * w * h )
28*32*32 *
מפתח נקודות מכירה
קל לתפעול
שם המוצר
ציוד ציפוי ואקום מגנטרון
מקור dc
500 w כוח לציפוי חומרים מתכתיים
מקור rf
300 w כוח, תדר 13.56 mhz לציפוי חומרים שאינם מוליכים
תא ואקום
300 מ "מ dia. גובה 300 מ" מ גובה
צפייה
שתי חתיכות של 100 מ "מ.
גודל מחזיק מדגם
140 מ "מ.
טמפרטורת המחזיק
מתכוונן מ rt ל 500 פי מקסימום
בקרת זרימת גז
שני בקרי זרימת מסה מדויקת (mfc)
מים
קצב זרימה: 16 ליטר/min